DynaMet - 用于三维工件镀膜的溅射镀膜系统
DynaMet系列镀膜设备区别于其它设备的最主要因素是其更短的工艺周期。该系列设备优异的性能得益于高产能的阴极溅射方式。配套在流水线中,无论大小的的复杂 三维工件的都可以实现低成本的镀膜。
多达4个工艺同步进行
取决于具体设备的型号,DynaMet系列t系统在旋转轴周围最多可以设置4个不同的工作室,由于此种设计,使得基片装载、基片卸载、基片预处理、当然还包括最重要的镀膜及保护膜都可以同 步进行,这无疑节省了大量工艺时间.
维护简单
DynaMet系统的维护也非常的简单和快捷。在三班制的工作条件下,以DynaMet 4V为例(此设备专门用于大规模生产,其工艺周期只有35秒),所需要的维护仅仅是每周一次的只是真空室清洁工作.


