镀膜技术－当前我们的系统中所应用的镀膜技术

产品多样性和对更高产品质量的追求和技术不断进步是真空行业的发展要求。因此莱宝光学的目标就是不断的创新，目前我们的系统利用 以下最先进的技术取得了突出的成果...

• 蒸发技术
  • 热阻蒸发以及电子束蒸发
  • 应用设备有: SYRUS III, CCS II, SYRUSpro, BOXER, AluMet, Cap-M, Pro-M, Lab & Cluster family
• 溅射技术
  • 直流,射频,中频及脉冲溅射技术
  • 平面靶, IPT, 双靶及移动靶技术
  • 应用设备有: DynaMet, HELIOS, PylonMet, Pegasus, Apollon, Nessy, Lab & Cluster family, WEB series, Sputter In-Line series (A-type and H-type)
• PECVD
  • 直流,低频,射频以及微波源的预处理技术和沉积技术
  • 应用设备有: DynaMet, PylonMet
• Plasma IAD
  • 与其他技术结合使用
  • 离子源: APS, APSpro, LION
• 在线工艺控制
  • OMS 3000, OMS 4000, OMS 5000, LMS

联系人

Dr. Michael Liehr