SYRUSpro family - Die flexible und hoch produktive Anlagenfamilie für Anwendungen in der Feinoptik
Die SYRUSpro family ist gerüstet für alle Anforderung, die die Feinoptik an Beschichtungssysteme stellen kann. Ausgerüstet mit einem neuartigen Prozesskontrollsystem (SYproCS), das durch maximale Automation bei gleichzeitig hoher Flexibilität besticht, garantiert diese Anlage für höchste Leistung und Produktivität.
Optisches oder physikalisches Monitoring
Eine große Vielfalt an Komponenten macht es möglich, die SYRUSpro Systeme individuell an Kundenbedürfnisse anzupassen. Neben dem optischen Monitoring auf Basis unseres [OMS 5000] kann auch ein physikalisches Kontrollsystem eingesetzt werden, um perfekte Beschichtungsergebnisse zu erreichen.
Fit für den Reinraum
Die SYRUSpro Anlagen gibt es mit Kammerdurchmessern zwischen 700 und rund 1.500 Millimetern. Alle Systeme lassen sich auch im Reinraum betreiben. Speziell für digital-optische Anwendungen wie UV/IR und Farbfilter wurde die SYRUSpro CFM entwickelt. DUV-Aufgaben übernimmt die für 193nm optimierte SYRUSpro DUV.
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