Pegasus - Die neue partikelfreie In-Line-Beschichtungsanlage für die Display Industrie
Pegasus heißt unsere aktuelle Sputteranlage, die neue Standards in der Displaybranche setzt. Sie kann selbst größte Substrate bis Gen 8 verarbeiten und besticht zudem durch ein vollkommen kontaktfreies Transportsystem, das die höchste auf dem Markt verfügbare Beschichtungsqualität garantiert.
Anforderung übererfüllt
Hohe Ausnutzung des Substrates, keine Erzeugung von Partikeln und einfachster Austausch des Trägers - die Displayindustrie stellt höchste Anforderungen an ihre Anlagen. LEYBOLD OPTICS bietet mit Pegasus erstmals ein In-Line-Beschichtungssystem, das all diesen Ansprüchen gerecht werden kann.
Hohe Taktrate und perfekte Ausnutzung
Bis zu vier Millionen Quadratmeter können mit der Pegasus pro Jahr beschichtet werden. Diesen hohen Durchsatz verdankt unsere Neuentwicklung ihrem Transportsystem auf Basis von Elektromagneten. Trotz der hohen Taktraten bietet das System unerreichte Ausnutzung der Targets und absolute Prozessstabilität.
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