OMS 5000 OPTATEC 2008: Neue Standards in der Präzisionsoptik dank optischer Schichtdickenmessung direkt auf dem Substrat
Seit über 150 Jahren ist LEYBOLD OPTICS (LO) Vordenker und Wegbereiter auf dem Gebiet der Vakuumtechnologie. Sein einzigartiger Pioniergeist macht das Unternehmen aus Alzenau zu einem der weltweit führenden Anbieter von Beschichtungsanlagen für die Präzisionsoptik-und Telekommunikationsindustrie. So ist in die Entwicklung der leistungsstarken HELIOS-Systeme und der SYRUSpro family auch das gesamte Knowhow der LO-Ingenieure eingeflossen. Kontinuierlich arbeitet die hauseigene Forschungsund Entwicklungsabteilung an intelligenten Innovationen -wie etwa dem optischen Monitoring System 'OMS 5000'.
Um der wachsenden Nachfrage nach Genauigkeit zu genügen und die benötigte optische Performance zu erreichen, ist es notwendig, die optische Stärke der Beschichtung direkt während des Beschichtungsprozesses zu messen. Bis jetzt wurde die Messung durch feststehende Testfolien durchgeführt. Der Nachteil dieser Methode ist, dass die Testfolien direkt in der Kammer liegen. Da die Kalotte rotiert, ist eine exakte Messung nur begrenzt möglich. Die höchste Genauigkeit erhält man nur in der Mitte der Kammer, aber die meisten Substrate befinden sich weiter außerhalb in der Kalotte. Das von LEYBOLD OPTICS präsentierte OMS 5000 System ermöglicht jetzt die Kontrolle optisch dünner Filmschichten direkt in der Kalotte mit hohen Wiederholungsraten.
Die Testfolie zur Messung der Schichten ist direkt in der Kalotte des Vakuumsystems platziert. Dies ermöglicht eine gradlinigere Einstellung der Beschichtungsdurchgänge. Testläufe zur Einstellung können größtenteils komplett vermieden werden. Es ist damit beispielsweise erstmals möglich, das System schnell von einer Konfiguration auf eine andere umzustellen. Zur besseren Kontrolle ist das Gerät vollkommen in die Infrastruktur der SYRUSpro Familie integriert.
Die Messungsgenauigkeit wurde durch den Wegfall der obligatorischen Testläufe und der rotierenden Kalotte erheblich verbessert. Der sogenannte ’Tooling-Faktor’ zwischen einer feststehenden Testfolie und der rotierenden Kalotte entfällt mit der innovativen Methode völlig. Diese Merkmale kommen in der Massenproduktion voll zum Tragen, wo so von einer Kalottenladung zur nächsten dichte Filter-Spezifikationen ermöglicht werden können. Die direkte Messung ist auf einer äußeren Position in der Kalotte platziert. Durch diese Anordnung wird die höchste Genauigkeit mit der höchsten Anzahl an Substraten erreicht.
Besonders für Nutzer von LEYBOLD OPTICS' SYRUSpro Systemen ergeben die Features des Monitor-Moduls einige unschlagbare Vorteile: LOs kraftvolle Beschichtungsanlagen erreichen dank OMS 5000 auch bei schwierigen Filterspezifikationen Ergebnisse von höchster Genauigkeit. Neben einem Mehrwert für SYRUSpro sichert das optische Monitoring-System die Investitionen der Kunden auch für die Zukunft. Für Nutzer von LEYBOLD OPTICS' intelligenter Lösung heißt es also auch zukünftig: 'Stay one step ahead'.
