Lab & Cluster Family - die Systemreihe mit Elektronenstrahl- oder Sputtertechnologie
Die einmalige Vielfalt von Box- oder Cluster-Vakuumkammern in unterschiedlichen Größen und Formen und einem breiten Spektrum an plasma-, elektronenstrahl- oder ionenstrahlgestützten Beschichtungs- und Behandlungswerkzeugen lässt bei LEYBOLD OPTICS fast keinen Wunsch offen. Je nach Substratgröße, Art des Dünnschichtpakets, Taktzeit und Budget kann zwischen Vakuumkammern in einer Breite von 500 bis 1820 Millimeter gewählt werden.
Große Vielfalt an Beschichtungswerkzeugen
Bis auf die Tatsache, dass sie alle wassergekühlte Wände haben und aus Edelstahl gefertigt sind, können sich zwei Lab oder Custer-Systeme dennoch stark voneinander unterscheiden. Zusammensetzung und Qualität der Beschichtung einerseits und die Eigenschaften der Substrate andererseits bestimmen die Wahl der Beschichtungswerkzeuge . Thermische- oder Elektronenstrahlverdampfung, verschiedenartige Magnetron Sputterkathoden, mit oder ohne Ionenstrahlunterstützung, sowie ein breites Spektrum von Gasphasenabscheidungstechniken hat LEYBOLD OPTICS im Portfolio.
Umgang mit Substraten
Die Beschichtungstemperatur der Substrate kann durch Kühlung oder Heizung sehr gut kontrolliert werden, wobei Substrate auf Drehscheiben, Kalotten oder Planetenantrieben platziert werden, um gute Beschichtungsgleichmäßigkeiten zu gewährleisten. Selbstverständlich sind alle Systeme mit programmierbarer Steuerungselektronik ausgestattet, die mit einem ausgeklügeltem Softwarepaket betrieben wird.
;)
;)