In-Line-Systeme - Maximale Qualität bei hohem Durchsatz
LEYBOLD OPTICS gehört sicherlich zu den ersten Adressen, wenn es um die In-Line-Abscheidung von dünnen Schichten in großem Maßstab und bei niedrigen Taktzeiten geht. Ob es sich dabei um großflächige Metall- oder Keramikbeschichtungen auf flachen, festen Substraten oder um große Mengen an kleinen Substraten in einem großflächigen Tragrahmen, dem „Carrier“, dreht - immer steht ein passendes In-Line-Systemkonzept zur Verfügung.
Die ganze Bandbreite des Magnetron Sputtern
„Carrier“-gestützte vertikale und horizontale In-Line-Beschichtungssysteme bestehen aus einer einfachen oder doppelten Schleusenkammer, die dem Substrattransfer in und aus der Vakuumumgebung dient. Die Maschinen können mit einer Vielzahl von Magnetron Sputterkathoden in planaren oder zylindrischen Ausführungen, aber auch mit neuartigen Kathode für bewegliche Sputtertargets ausgerüstet werden. Die Substrate werden gleichförmig an den Magnetron Sputterkathoden vorbeibewegt und mittels direkter oder reaktiver Prozess beschichtet, wobei als Energieversorgung homogene oder gepulste Gleichspannung, Mittel- und Hochfrequenzversorgungen zur Verfügung stehen.
Vertikale oder horizontale In-Line-Systeme
Ein vertikales „Carrier“-gestütztes In-Line-Beschichtungssystem bietet sich bei absehbaren partikelbehafteten Prozessen an. Horizontale In-Line-Anlagen für große flache Substrate sind dagegen zumeist mit einem wartungsfreundlichen, „Carrier“-losen Walzentransportsystem ausgestattet. Sie können ggf. aber bei Bedarf auch mit einem „Carrier“-gestützten Transport ausgerüstet werden.
