Maßgeschneiderte Systeme – Individuelle Lösungen für komplexe Anforderungen
'Wenn keine passende Standard-Plattform zur Verfügung steht, muss ein völlig neues System entwickelt werden, um den Kundenwünschen gerecht zu werden' - die Ingenieure und Forscher bei LEYBOLD OPTICS sind jederzeit bereit, sich einer neuen Herausforderung zu stellen. Ihre Innovationsfreudigkeit haben die Dresdner bereits bei einer Vielzahl sehr spezifischer Projekte bewiesen.
NESSY - eine einzigartige Antwort auf eine einzigartige Herausforderung
NESSY ist ein Ultrahochvakuum (UHV)-Beschichtungssystem, bei dem das Handling der Substrate für die Präzisionsbeschichtung von optischen Spiegeln, die im Bereich der extremen UV-Lithographie (ca. 13,4 nm Wellenlänge) eingesetzt werden, mittels einer Schleuse erfolgt. Die Maschine ist mit hochpräzisen Magnetron Sputterkathoden ausgerüstet, die es ermöglichen, auf den Oberflächen der 300 Millimeter großen Substrate eine Genauigkeit von 0,1 Prozent in der Beschichtungsstärke zu erreichen.
Spezialsysteme für spezielle Anwendungen
Mit dem Modell A 1105 UHV ist ein Ultrahochvakuum (UHV)-System entwickelt und gefertigt worden, das der Präzisionsbeschichtung von optischen Linsen aus Calciumfluorid dient, wie sie bei der Lithographie im tiefen UV-Bereich (ca. 153 nm Wellenlänge) zum Einsatz kommen. Das System ist mit hochpräziser Verdampfertechnologie ausgestattet.
LAB 1820 TH ist ein einzigartiges Beschichtungssystem für die Produktion von ortsauflösenden Szintillatorkristallen auf planaren Substraten bis zu einer Größe von 500 x 500 Millimetern. Ausgerüstet mit thermischen Verdampferquellen kommt der Prozess ohne lästige Lochmasken aus.
LAB 900 GLL dagegen ist ein hoch spezialisiertes System, um integrierte Schaltkreise auf den Siliziumwafern zu verkapseln. Glasartige Dickschichten werden mittels Elektronenstrahlverdampfung und unter Einsatz eines automatischen Materialzuführungssystems aufgetragen, um eine hohe Produktivität zu gewährleisten.
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